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Honeywell Analytics-Midas(固定式氣體偵測器)


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Midas為快速可靠的氣體監測系統,可偵測半導體及其他行業制程中應用的多種氣體。標準輸出包含3個警報繼電器輸出,0-22 mA 類比輸出,Modbus/TCP乙太網數位輸出。Midas架構提供了成本低廉的簡易方式可與PLC和FieldBus系統整合。Midas內置取樣幫浦,可監測30米(100尺)遠的監測位置。

氣體種類:

NH3、AsH3、BCl3、BF3、BF3、Br2、CO2、CO、CI2、CIO2、B2H6、H2Cl2Si、CH2F2、Si2H6、F2、GeH4、C4F6、H2、H2、HBr、HCI、HCN、HF、HF、H2S、CH4、CH3F、NO2、NO、NF3、C5F8、O2、O3、O3、PH3、SiH4、SiH4、SO2、SF6、TEOS、WF6、WF6